平成21年6月23日現在
| 石田 英之 | 株式会社東レリサーチセンター代表取締役副社長 | |
| 上野 保 | 東成エレクトロビーム株式会社代表取締役社長 | |
| 長我部 信行 | 株式会社日立製作所研究開発本部 本部長付（兼）中央研究所ソリューションLSI研究センタ長 | |
| 近藤 豊 | 東京大学先端科学技術研究センター教授 | |
| 佐近 正 | 新日本製鐵株式会社技術開発本部先端技術研究所解析科学研究部長 | |
| 志水 隆一 | 財団法人国際高等研究所上級研究員 | |
| 菅野 純夫 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科教授 | |
| 杉浦 康夫 | 名古屋大学副総長顧問 名古屋大学大学院医学系研究科教授 | |
| 竹内 孝江 | 奈良女子大学理学部化学科准教授 | |
| 田中 耕一 | 株式会社島津製作所フェロー | |
| 玉田 薫 | 東北大学電気通信研究所教授 | |
| 中村 志保 | 株式会社東芝研究開発センター記憶材料・デバイスラボラトリー研究主幹 | |
| ◎二瓶 好正 | 東京理科大学副学長 | |
| 原 清明 | 株式会社堀場製作所執行役員半導体システム統括部管掌 | |
| 広瀬 研吉 | 独立行政法人科学技術振興機構理事 | |
| 松尾 由賀利 | 独立行政法人理化学研究所先任研究員 | |
| 森川 智 | ヤマト科学株式会社代表取締役社長 | |
| 山科 正平 | 北里大学名誉教授 |
◎：主査、計18名（五十音順 敬称略）
研究振興局研究環境・産業連携課