令和5年12月
| 主査 | 平本 俊郎 | 公益社団法人応用物理学会会長、東京大学生産技術研究所教授 |
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| 石内 秀美 | 元株式会社先端ナノプロセス基盤開発センター（EIDEC）代表取締役社長 | |
| 石丸 一成 | Rapidus 株式会社専務執行役員、技術研究組合最先端半導体技術センター（LSTC）研究開発策定責任者委員会委員 | |
| 大森 達夫 | 三菱電機株式会社開発本部主席技監 | |
| 黒田 忠広 | 東京大学大学院工学系研究科教授 | |
| 五神 真 | 国立研究開発法人理化学研究所理事長 | |
| 橋本 和仁 | 国立研究開発法人科学技術振興機構理事長、内閣官房科学技術顧問 | |
| 林 喜宏 | 公益社団法人応用物理学会システムデバイスロードマップ産学連携委員会（SDRJ）委員長、慶應義塾大学訪問教授、国立研究開発法人産業技術総合研究所先端半導体研究センター招聘研究員 | |
| 日高 秀人 | ルネサスエレクトロニクス株式会社フェロー | |
| 宝野 和博 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構理事長 | |
| 渡部 潔 | 一般社団法人日本半導体製造装置協会専務理事 |
研究開発局環境エネルギー課
kankyou@mext.go.jp