（2109）ナノ界面プラズマ_要点

研究領域名

　プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成

領域代表者

　白谷 正治 （九州大学・大学院システム情報科学研究院・教授）

研究期間

　平成21年度～25年度

研究の概要

　プラズマを用いたナノ材料・ナノ構造の創成は、ULSI 作製等のトップダウンプロセス、カーボンナノチューブ作製等のボトムアッププロセスに広く用いられており、ナノ構造創成法として中心的役割を果たすと期待される。本領域では界面がナノサイズに縮小することにより顕在化する特徴に焦点を絞り、そこに内在する法則・原理・機構を解明し新しい学術基盤を体系化する。その基盤に基づき、界面サイズ縮小で顕著となる相互作用の揺らぎの抑制法と増幅法を確立し、それぞれ揺らぎの無い超高精度トップダウンプロセスと高度に制御された自己組織化ボトムアッププロセスを実現する。これにより、従来実現できなかった高度なナノ材料・ナノ構造の創成に爆発的な発展をもたらすことを意図している。

Title of project

Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces

Head Investigator Name

SHIRATANI Masaharu, Kyushu University, Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Professor

Term of Project

2009-2013

Abstract of Research Project

Plasma-based fabrication of nanomaterials and nanostructures is widely employed for top-down processes such as ULSI processing as well as bottom-up processes such as carbon nanotube production. This research project explores frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces by focusing on novel features such as fluctuations of interactions due to the nanometer scale. Plasma processing based on the science realizes highly precise top-down processes by suppressing fluctuations and well controlled self-organized bottom-up processes by controlling fluctuations. This project aims to bring about an explosive development of fabrication technologies of nanomaterials and nanostructures.