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量子科学技術委員会(第9回) 議事録

1.日時

平成29年2月7日(火曜日)~平成29年2月13日(月曜日)

2.場所

開催方法:書面審議による

3.議題

  1. 量子ビーム利用推進小委員会「高輝度放射光源とその利用に関する中間的整理」の報告
  2. 最先端フォトニクス・レーザー(産業応用の高度化)に係る議論の骨子(案)の確認
  3. 量子科学技術の新たな推進方策について 中間とりまとめ(案)の確認

4.出席者

委員

雨宮委員、飯田委員、岩井委員、岩本委員、上田委員、大森委員、城石委員、根本委員、早瀬委員、美濃島委員、湯本委員、平野委員

文部科学省

上田研究開発基盤課量子研究推進室長、吉川研究開発基盤課課長補佐、橋本研究開発基盤課量子研究推進室室長補佐

5.議事録

【吉川補佐】   第9回量子科学技術委員会を書面審議にて開催させていただきます。量子ビーム利用推進小委員会「高輝度放射光源とその利用に関する中間的整理」の報告を資料1-1、パワーポイントの概要資料を資料1-2として、「最先端フォトニクス・レーザー(産業応用の高度化)に係る議論の骨子(案)」を資料2として、前回から修正した「量子科学技術の新たな推進方策について 中間とりまとめ(案)」を資料3-1、パワーポイントの概要資料を資料3-2として添付しております。それではどうぞよろしくお願いいたします。

【城石委員】   初見の放射光施設関係を中心に見させていただきました。余り時間がないようですので、ざっと見させていただいただけで勘違いもあるかもしれません。その節は失礼なコメントになっているかも知れず、お許しいただけますと幸いです。
(1)全体コメント
 これまで直接お話を伺ってきました量子関係の技術に比べ、1:Society5.0との関係に関する記載が弱い、2:インパクト等が量子に比べ古典的、であるように感じました。波及効果の大きさをもう少し強化して御説明いただく方がよろしいように感じました。御参考になれば幸いです。
(2)個別コメント
 頂きました資料に気づき事項をコメントさせていただきました。勘違いで失礼なコメントになっているかも知れません。その節はお許しいただけますと幸いです。御参考になれば幸いです。
 1:資料3-1
p.5
 (修正前)サイバー・フィジカル空間
 (修正後)サイバー・フィジカル・システム

【飯田委員】   資料を拝見して、気が付いたことを以下に記載させていただきます。御検討いただければ幸いです。何とぞよろしくお願いいたします。
(1)資料3-2
 p.6右側の量子センサの箇所に関しまして、前回の会議でも指摘させていただいたのですが、超微弱量として「光」も入れるべきではと思いました。以下、御検討ください。
 (原案)物質、生体の超微弱量(磁気、電場、温度等)をセンシング
 (修正案)物質、生体の超微弱量(光、磁気、電場、温度等)をセンシング
(2)資料3-1
 上記と関連して、資料3-1の該当箇所についても御検討いただければ幸いです。
 p.7(量子計測・センシング・イメージング)
 (原 案) 外乱で壊れやすい量子状態を逆手に利用することで、従来技術では難しい微弱な磁場・電場・温度等の変化を高感度に検出したり、原子や光子等の量子が発現する波としての性質やもつれ合い状態を利用する量子計測・センサ技術は、従来技術を凌駕する感度や空間分解能等を得る計測・センサ技術となると期待されている。
 (修正案)外乱で壊れやすい量子状態を逆手に利用することで、従来技術では難しい微弱な光・磁場・電場・温度等の変化を高感度に検出したり、原子や光子等の量子が発現する波としての性質やもつれ合い状態を利用する量子計測・センサ技術は、従来技術を凌駕する感度や空間分解能等を得る計測・センサ技術となると期待されている。
 p.25(固体量子センサの応用可能性)
 (原案)固体量子センサは、常温・室温動作し、従来技術では難しい微弱な磁場・電場・温度・歪み等の信号を捉える量子計測・センサ技術であるため、応用可能性が非常に多岐に亘る。
 (修正案)固体量子センサは、常温・室温動作し、従来技術では難しい微弱な光・磁場・電場・温度・歪み等の信号を捉える量子計測・センサ技術であるため、応用可能性が非常に多岐に亘る。

【湯本委員】   資料2、資料3-2について、コメントを記入しました。
(1)
 p.1(研究動向)
 (原案)サイバーシステム
 (修正案)サイバーフィジカルシステム(CPS)
 p.1(EUVリソグラフィ)
 (原案)実用化
 (修正案)本格導入
 p.2(EUVリソグラフィ)
 (原案)我が国においても2016年に、EUVリソグラフィ光源として実用化に必要とされる出力250Wが短時間実現され、100Wでは5時間の安定運転が実現するなど、一定の進展があり、光源の実用化に大きく近付いているといえる。一方で、EUVリソグラフィシステムとしての実用化に向けては、1か月程度で交換が必要な集光ミラーの検査装置の開発も必要である。現在は、放射光施設(SPring-8等)が検査に利用されているが、運用が制限される。
 (修正案)我が国においても2016年に、EUVリソグラフィ光源(スズのドロップレットをCO2レーザー励起で生成したプラズマからの13.5nmの発光)として本格導入の判断基準である出力250Wが短時間実現され、100Wでは5時間の安定運転が実現するなど、大きな進展があり、光源の実用化に大きく近付いているといえる。一方で、EUVリソグラフィシステムとしての実用化に向けては、スズのデブリによる集光ミラーの汚染が大きな問題で、1か月程度で交換が必要になる。そのため、集光ミラーのクリーニング、再検査、再コーティング等の工程を含むミラーリサイクルシステムの構築も不可欠である。現在は、EUVL用ミラーの検査には、放射光施設(SPring-8等)が利用されているが、運用が制限される。
(2)資料3-2
 p.1の「非線形に課題を解決する大きな可能性」は「さらに、課題解決を飛躍的に高速にする手法の実現等の可能性」ではどうか。「コモディティー化」という言葉が適切か?「他が追従できない」という意味でしょうか?

【吉川補佐】   予定の時間になりましたので質問・意見の受付を終了させていただいきます。今後につきましては、雨宮主査と相談の上、御連絡させていただきます。

(委員の御意見を(案)に反映し、雨宮主査と相談)

【吉川補佐】   書面審議におきましては、貴重な御意見を頂き、ありがとうございます。頂いた御意見に対して、雨宮主査とも御相談させていただき、下記のように対応しております。本メールにて送付させていただいたものを最終版とし、本日の日付で委員会として決定したものとして、文部科学省のHPでの公表手続を進めさせていただこうと思います。

(1)中間とりまとめ案
 1:城石委員から頂いた御意見
 資料3-1のP5、中央下あたりの表現を「サイバー・フィジカル空間の融合」としました。
 2:湯本委員から頂いた御意見
 資料3-2に修正いただく形で頂いておりましたので、反映するとともに、資料3-1についても整合をとった形で更新しました。
 3:飯田委員から頂いた御意見
 飯田先生から、固体量子センサによる光センシングの研究例を頂きました。量子センサの記載(資料3-1の例えばP7、資料3-2)について「従来技術では難しい微弱な磁場・電場・温度、光等の変化を高感度に検出」と光を追記。
(2)最先端フォトニクス・レーザー(産業応用高度化)骨子案
 1:湯本先生から頂いた御意見をもとに、事務局にて更新しました。
 以上を踏まえた改定したバージョンを送付します。添付資料について補足です。資料3-1についてですが、目次に注記と用語解説を入れました。また、これまでの議論の骨子案等で記載していいました用語解説をP54~に転載しました。最先端フォトニクス・レーザー(産業応用高度化)骨子案を資料3-1に転載しました。最後に参考資料1~3として、量子委の検討項目、委員名簿、量子委の検討経緯を追加しました。
 なお、量子ビーム利用推進小委員会部分に頂いた御意見は、今後の小委員会で紹介をさせていただくこととしています。よろしくお願いいたします。
(「異議なし」として了承)
―― 了 ――

お問合せ先

科学技術・学術政策局 研究開発基盤課 量子研究推進室

(科学技術・学術政策局 研究開発基盤課 量子研究推進室)

-- 登録:平成29年06月 --